本系列是由無(wú)油爪泵和無(wú)油分子真空泵串聯(lián)而成， 結合了兩種泵的優(yōu)點(diǎn)，結構緊湊，運行可靠。本單位是 國內唯一家具有干式分子泵機組的廠(chǎng)家。由于分子泵啟 動(dòng)條件比較嚴格，對前級泵的極限真空度要求比較苛 刻，必須在干泵真空度抽到<10Pa 后，分子泵才可以 啟動(dòng)，這樣可以獲得較高的真空度。廣泛用于：真空實(shí) 驗室等特殊無(wú)油高空度環(huán)境。用無(wú)油爪泵做前級泵，對 被抽環(huán)境無(wú)污染，無(wú)返油，維護周期長(cháng)，且能維持長(cháng)期 穩定的極限壓力。
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