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產(chǎn)品分類(lèi)導航
2025制藥工業(yè)深圳展
三通道冷水機/水冷機/直冷機chiller
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更新時(shí)間:2025-06-12

價(jià)格:
品牌: 冠亞恒溫
型號: FLTZ-002
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產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品關(guān)鍵詞: 半導體冷水機,chiller,精密溫控冷水機,高低溫測試機,熱流儀
是否為生產(chǎn)商:
最低訂購量: 1
供貨能力: 100
付款方式: 依據合同為準
交貨周期: 45個(gè)工作日
主要銷(xiāo)售市場(chǎng): 中國,北美洲,中/南美洲,西歐,亞洲,非洲
產(chǎn)品描述:

面板直冷機的結構設計以實(shí)現制冷劑與目標元件直接換熱為核心,其系統架構包含制冷循環(huán)、換熱組件及控制單元三部分。制冷循環(huán)采用單壓縮機或復疊式制冷系統,保障低溫環(huán)境下的穩定運行。  

一、面板直冷機的核心結構設計原理

換熱組件是面板直冷機的關(guān)鍵結構之一,其設計直接影響傳熱效率與溫度均勻性。系統采用全密閉循環(huán)設計,管路材質(zhì)為不銹鋼或銅,降低流體流動(dòng)阻力。膨脹罐容積根據制冷劑充注量設計,可容納低溫下制冷劑的體積收縮量,避免系統負壓導致空氣滲入。壓力傳感器實(shí)時(shí)監測系統壓力,當壓力波動(dòng)超過(guò)恒定值時(shí),自動(dòng)觸發(fā)安全保護機制,防止管路泄漏。  

二、溫度均勻性控制的關(guān)鍵技術(shù)路徑  

1、制冷劑流動(dòng)特性?xún)?yōu)化  

制冷劑的流動(dòng)狀態(tài)直接影響溫度分布均勻性。直冷機通過(guò)電子膨脹閥準確控制制冷劑流量,避免層流導致的局部過(guò)熱或過(guò)冷。在超低溫工況下,通過(guò)預熱管路與蒸發(fā)器,使制冷劑進(jìn)入目標元件時(shí)的溫度偏差可以控制。  

2、換熱表面結構改進(jìn)  

目標元件的表面處理與結構設計是溫度均勻性控制的核心??焖贉刈兛販乜ūP(pán)系列采用平板結構,平板內部設計螺旋狀流道,制冷劑通過(guò)時(shí)形成均勻的熱交換面。

3、控制算法與傳感器布局  

溫度控制算法通過(guò)多變量反饋實(shí)現均勻性?xún)?yōu)化。直冷機采用PLC可編程控制器,集成前饋PID與模糊控制算法,前饋算法提前補償壓縮機功率與電子膨脹閥開(kāi)度。傳感器布局采用矩陣式分布,實(shí)時(shí)采集溫度數據并輸入控制系統,通過(guò)加權平均算法調整制冷劑流量,清理局部溫度異常。  

4、系統熱平衡設計  

直冷機通過(guò)熱流密度匹配實(shí)現整體熱平衡。在制冷側,冷凝器采用板式換熱器或微通道換熱器;在負載側,通過(guò)計算目標元件的熱耗功率,選擇合適的制冷劑充注量與蒸發(fā)面積,確保單位面積熱流密度匹配。

三、結構設計與控制方法的協(xié)同優(yōu)化實(shí)踐  

1、超低溫工況下的結構強化  

在超低溫場(chǎng)景,直冷機采用雙層管路保溫設計,確保管路表面溫度與環(huán)境溫差。同時(shí),壓縮機采用雙級油分離技術(shù),防止潤滑油在低溫下粘度增加導致的系統堵塞,保障制冷循環(huán)的連續性。  

2、快速溫變場(chǎng)景的響應優(yōu)化  

對于需要快速升降溫的應用,面板直冷機通過(guò)優(yōu)化制冷劑回路縮短響應時(shí)間。面板直冷機在高溫工況下可直接通過(guò)旁通管路使高溫高壓制冷劑氣體流入蒸發(fā)器,實(shí)現快速降溫。確保溫變過(guò)程中的實(shí)時(shí)調節。  

面板直冷機的結構設計與溫度均勻性控制通過(guò)制冷循環(huán)優(yōu)化、換熱表面精細化及智能控制算法的協(xié)同作用,實(shí)現了高精度溫度控制。

原理:
半導體溫控設備Chiller(高精度冷熱循環(huán)器),適用于集成電路、半導體顯示等行業(yè),溫控設備可在工藝制程中精準控制反應腔室溫度,是一種用于半導體制造過(guò)程中對設備或工藝進(jìn)行冷卻的裝置,其工作原理是利用制冷循環(huán)和熱交換原理,通過(guò)控制循環(huán)液的溫度、流量和壓力,帶走半導體工藝設備產(chǎn)生的熱量,從而實(shí)現精確的溫度控制,確保半導體制造過(guò)程的穩定性和產(chǎn)品質(zhì)量。
產(chǎn)品優(yōu)勢:
半導體Chiller高精度冷熱循環(huán)器按照不同產(chǎn)品類(lèi)型,包括單通道和雙通道,主要有FLTZ變頻單通道系列(-100℃~+90℃)、FLTZ變頻多通道系列(-45℃~+90℃)、無(wú)壓縮機系列ETCU換熱控溫單元(+5℃-+90℃)
主要特征:

多通道獨?控溫,可以具備單獨的溫度范圍、冷卻加熱能?、導熱介質(zhì)流量等,根據所需的溫度范圍選擇采?蒸汽壓縮制冷,或者采?ETCU?壓縮機換熱系統,系統可通?膨脹罐、冷凝器、冷卻?系統等,可以有效減少設備尺?,減少操作步驟。

無(wú)錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司
注冊資本6,000,000至6,999,999
公司地址
江蘇省無(wú)錫市江蘇省無(wú)錫市新吳區機光電工業(yè)園鴻運路203號
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