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檢 驗 項 目 |
指 標 |
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優(yōu)等品 |
一等品 |
合格品 |
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三氟化硼純度（%） |
>99.9 |
>99．7 |
>99.5 |
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不溶于水的氣體 （ppm） |
<1000 |
<3000 |
<4000 |
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二氧化硫(ppm) |
<50 |
<200 |
<300 |
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硫酸鹽(ppm) |
<50 |
<150 |
<500 |
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四氟化硅(ppm) |
<20 |
<100 |
<300 |
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